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我们稳定可靠的气体分析解决方案可测量超过20种气体，可达到业界先进的精度和稳定性。
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我们的 ULTRA 系列超高纯气体分析仪以卓越的测量性能，满足并超越半导体行业最严苛的应用要求。基于成熟可靠的技术，这些分析仪运行稳定可靠，同时相比同类技术具备显著更低的总体拥有成本。
ULTRA 系列采用值得信赖的 Servomex 传感技术，具备经过验证的可靠性、操作简便性，并且仅需极少的维护。
ULTRA 系列采用高灵敏度、非消耗型的库仑法传感器，可实现行业领先的氧气测量性能，无需定期更换，也不会出现燃料电池传感器常见的虚假低读数问题。
基于我们先进的可调谐二极管激光（TDL）光谱技术，激光水分传感器采用坚固、简洁且低维护的光学设计，提供卓越的非接触式测量性能。
等离子体发射检测（Plasma Emission Detector）技术可实现稳定且高灵敏度的测量，能够进行痕量十亿分之一（ppb）级别的检测。该技术已被验证可满足超高纯（UHP）气体的应用要求，同时成本显著低于同类竞争技术。
ULTRA 系列具备快速响应、极低检测限和操作简便等优势，同时成本低于同类竞争系统，是超高纯（UHP）气体分析的整体最佳选择。
ULTRA 系列所采用的传感技术均为非消耗型，性能经过充分验证。依托我们深厚的行业专业经验，这些技术能够以显著低于 APIMS 等竞争解决方案的成本，提供准确、可靠的测量结果。每种传感器都针对目标气体实现高灵敏度的专属性监测，兼具卓越的稳定性，并能对气体浓度变化作出快速响应。
在监测用于半导体晶圆制造的超高纯（UHP）气体时，最高的灵敏度和性能至关重要。我们的每一款 ULTRA 系列分析仪都提供了该产品系列中最优的最低检测限（LDL）。它们共同构成了一套具有颠覆意义的整体 UHP 气体分析解决方案，兼具可靠性、易操作性，并且相比竞争技术具有显著更高的成本效益。
ULTRA 系列为半导体行业提供了一体化的增值解决方案，将高性能与相对较低的成本相结合。其拥有成本优势源于非消耗型传感器所需的维护更少以及更长的校准周期。每台分析仪都操作简便，降低了培训需求，并大幅减少了人为操作错误的可能性。
DF-560E ULTRA 现可在前面板屏幕上直观显示其卓越的最低检测限（LDL）. 达到 45 万亿分之一（ppt）. 当 DF-560E ULTRA 的测量值低于 1 ppb 时，单位会自动转换为 ppt，为半导体行业在超高纯（UHP）电子级气体质量控制中提供行业领先的氧气（O₂）测量性能。该分析仪灵活且适应性强，能够在多种背景气体中监测 O₂，并以多种格式记录数据。
DF-750 ULTRA 专为在多种超高纯（UHP）气体中进行痕量及超痕量水分测量而设计，并针对 300 mm 半导体晶圆厂进行了优化。它可测量电子级气体中作为污染物存在的水分，包括氮气、氢气、氦气、氩气和氧气。可调谐二极管激光（TDL）传感技术实现了行业领先的 55 万亿分之一（ppt）最低检测限（LDL），确保 DF-750 ULTRA 稳定且高精度的测量性能，满足半导体生产对精密监测的严格要求。
DF-760E ULTRA 紧凑型分析仪为超高纯（UHP）大宗气体提供行业领先的质量控制测量，是同时测量痕量及超痕量水分（H₂O）和氧气（O₂）的卓越解决方案。该产品在单一紧凑机型中结合了我们的非消耗型库仑法传感器与坚固可靠的可调谐二极管激光（TDL）技术，可在氮气（N₂）、氢气（H₂）、氦气（He）、氧气（O₂）和氩气（Ar）等背景气体混合物中，对 H₂O 和 O₂ 的超低污染物水平进行精确测量（H₂O 仅适用于 O₂）。
作为半导体行业进行超痕量纯度测量的首选方案，革命性的 NanoChrome ULTRA 融合了气体传感和信号处理方法的最新进展，带来卓越的性能。它采用先进的等离子体发射检测（PED）传感技术和高灵敏度的 ProPeak 软件，可在多种常见背景气体中，对氩气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、氢气、氮气以及非甲烷烃进行高度可靠的监测。
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