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仕富梅的氧化锆传感器包括一个由氧化锆陶瓷制成的测量池，并通过一个氧化钇或氧化钙层使其稳定，从而形成晶格结构。测量池上有一层导电涂层，作为晶格两侧的电极。在700摄氏度以上的温度下，氧离子能够通过晶格中的开口。如果此时样气流入晶格侧，那么氧离子就会流过晶格，而流量由温度以及样气与晶格另一侧参比气体（通常是空气）中的氧气分压之差决定。氧离子流过晶格时，会在电极上生成一个电压，电压大小是样气和参比气体中氧气分压之比的对数函数。鉴于先前已经确定出了参比气体的分压，因此通过测量池中形成的电压就可以得到样气中的氧气含量。
基于氧化锆的氧气分析仪对于ppm级的氧气含量变化具有非常的响应特性，而且可用于测量21%的氧气。氧化锆的主要优点就是可以用在SERVOTOUGH FluegasExact 2700等在线测量仪中，测量探头可以直接放到烟道内进行高温燃烧气体分析，而不需要使用抽取式取样设备