等离子

等离子发射探测 (PED) 检测仪

等离子是一种具有大量能量的离子化气体：气体被注入足够的能量时，它们的电子就会脱离原子或分子，从而使得离子和电子共存。在等离子作用下，气体会产生与样气中特定分子键直接相关的强发射光谱。使用精密滤光器将感兴趣气体的发射光谱分离出来，就可以实现高选择性的气体测量。

仕富梅的等离子传感器包括两个元件：一个元件是等离子发生机构，用于生成受控（稳定）电磁场，这个电磁场对等离子气体进行激励，以使其发出光谱线；另一个元件是等离子室检测器，对其进行调谐后可用于识别特定气体的光谱线。检测器由石英制成，这种材料对于发射的光谱来说是透明的。

鉴于每种气体能发出独特的气体光谱，因此等离子检测技术能够实现高灵敏度的测量，而且可以实现微量级ppb测量。