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气相色谱法 (GC) 是一种通过分离气体混合物从而确定样气中气体成分和浓度以及杂质的技术。如果使用得当，GC的测量精度可达ppb级，从而使其成为高纯过程应用的理想选择。
在GC过程中，使用惰性载气对样气进行循环，从而分离出混合物中的气体组分，并使其进入一个叫做色谱柱的流通式环形管内。不同的气体成分会随着与色谱柱材料的反应而被分离出来，从而导致在不同的时刻样气中会出现不同的分子。由于每一种气体的独特分子属性会使其在不同的时刻经过并流出色谱柱，因此在色谱柱出口处的传感器就可以检测到每一种气体的特定保持时间。
通过对保持时间进行比较，用户就能根据气体成分从色谱柱洗脱出的顺序对气体类型进行定性分析。在条件不变的情况下，某种气体在洗脱时总会具有相同的保持时间，从而就可以根据峰值面积推导出特定的气体类型。此外，当每种气体从色谱柱洗脱时，还可以测量出每种气体浓度的相对体积。
在某个应用中进行GC分析时的条件总是不断变化的，因此需要单独进行优化。绝大多数GC分析仪在出厂时都预设了具体应用的阀门定时、流量和温度设置以及峰值检测参数等。